Camera pulita

 

Informazioni tecniche

La Camera Pulita è un laboratorio dell' INFN sviluppato in collaborazione con il Dipartimento di Fisica.

È composta da due unità adiacenti: la camera pulita "A" e la camera pulita "B", collegate fra di loro tramite una porta automatica. Questa configurazione permette di operare alle due unità sia in maniera indipendente (diverse impostazioni di temperatura ed umidità), sia come un ambiente unico, a seconda delle esigenze specifiche.
 

  CAMERA PULITA "A" CAMERA PULITA "B"
Classe di purezza: ISO 4 (FED 209D M 5,5) ISO 2 (FED 209D M 3,5)
Intervallo di temperatura: ± 1°C ± 1°C
Intervallo di umidità: ± 5% ± 5%
Flusso laminare: M 3,5 n° 4-dim 120x60 cm M 3,5 n° 1-dim 200x60 cm

 
CleanRoom foto1 CleanRoom foto2
 

Attrezzature principali

  • Bilancia
  • Bonding Delvotec
  • Camalot
  • Cappa
  • Gantry
  • Forno
  • Kulicke Soffa
  • Ladder
  • Microscopi
  • Mitutoyo BHN506
  • Mitutoyo 776
  • PA 200
  • Sigillatrice vuoto
  • Silicon Survey
  • Stazione test Kapton
  • Strumenti Keithley
  • Vasca ultrasuoni

 

Note

  • L'esperienza per la progettazione, realizzazione e gestione della Camera Pulita dell' INFN presso il Dipartimento di Fisica è stata fondamentale per la realizzazione del Laboratorio SERMS di Terni.